偏压对TiAlN涂层微观结构、力学和摩擦学性能的影响

曹红帅,刘福家,李好,罗文忠,齐福刚,卢立伟,赵镍,欧阳晓平,

中国有色金属学报（英文版） ›› 2022, Vol. 32 ›› Issue (11) : 3596-3609.

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中国有色金属学报（英文版） ›› 2022, Vol. 32 ›› Issue (11) : 3596-3609. DOI: 10.1016/S1003-6326(22)66042-4
Materials Science and Engineering

偏压对TiAlN涂层微观结构、力学和摩擦学性能的影响

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Effect of bias voltage on microstructure, mechanical and tribological properties of TiAlN coatings

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ISSN 1006-9356　CN 11-3729/TF
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