Al2O3插入层对HfO2/ZrO2叠层薄膜铁电性能的影响

陈海燕,陈永红,梁秋菊,王志国,曹俊,张斗

中国有色金属学报（英文版） ›› 2023, Vol. 33 ›› Issue (10) : 3113-3121.

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中国有色金属学报（英文版） ›› 2023, Vol. 33 ›› Issue (10) : 3113-3121. DOI: 10.1016/S1003-6326(23)66321-6
Materials Science and Engineering

Al2O3插入层对HfO2/ZrO2叠层薄膜铁电性能的影响

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Effect of Al2O3 insertion layer on ferroelectricity in HfO2/ZrO2 nanolaminates

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