Cu2+和H2O2类芬顿反应促进钨的高效化学机械抛光

陈泓谕，王 林，彭 枫，沈蒙蒙，杭 伟，Tufa Habtamu BERI，张惠斌，赵 军，韩云晓，吕冰海

中国有色金属学报（英文版） ›› 2025, Vol. 35 ›› Issue (1) : 257-270.

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中国有色金属学报（英文版） ›› 2025, Vol. 35 ›› Issue (1) : 257-270. DOI: 10.1016/S1003-6326(24)66678-1

Cu2+和H2O2类芬顿反应促进钨的高效化学机械抛光

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Efficient chemical mechanical polishing of W promoted by Fenton-like reaction between Cu2+ and H2O2

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2025, 35(1): 257-270 https://doi.org/10.1016/S1003-6326(24)66678-1
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2025, 35(1): 257-270 https://doi.org/10.1016/S1003-6326(24)66678-1
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{{article.reference}}

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{{article.copyrightStatement_cn}}
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