高平整度和低损伤碳化硅晶片的纳米磨削技术

霍凤伟,郭东明,康仁科,冯 光

中国有色金属学报（英文版） ›› 2012, Vol. 22 ›› Issue (12) : 3027-3033.

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高平整度和低损伤碳化硅晶片的纳米磨削技术

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Nanogrinding of SiC wafers with high flatness and low subsurface damage

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