基片偏压对电弧离子镀ZrN薄膜微结构和表面形貌的影响

张 敏,胡小刚,杨晓旭,徐菲菲,金光浩,邵志刚

中国有色金属学报（英文版） ›› 2012, Vol. 22 ›› Issue (Special 1) : 115-119.

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基片偏压对电弧离子镀ZrN薄膜微结构和表面形貌的影响

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Influence of substrate bias on microstructure and morphology of ZrN thin films deposited by arc ion plating

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2012, 22(Special 1): 115-119
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2012, 22(Special 1): 115-119
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