5-甲基苯并三氮唑作为电腐蚀抑制剂在铜电化学机械平坦化中的应用

边燕飞,翟文杰,朱宝全

中国有色金属学报（英文版） ›› 2013, Vol. 23 ›› Issue (8) : 2431-2438.

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Mine Engineering, Metallurgical Engineering, Chemistry and Chemical Engineering

5-甲基苯并三氮唑作为电腐蚀抑制剂在铜电化学机械平坦化中的应用

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5-methyl-1H-benzotriazole as potential corrosion inhibitor for electrochemical-mechanical planarization of copper

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