偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响

石永敬,潘复生,鲍明东,潘虎成,MuhammadRASHAD

中国有色金属学报（英文版） ›› 2014, Vol. 24 ›› Issue (9) : 2856-2863.

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偏压对非平衡磁控溅射ZrNbAlN薄膜的成分、力学性能及腐蚀特性的影响

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Effect of bias voltage on compositional, mechanical and corrosion property of ZrNbAlN multilayer films by unbalanced magnetron sputtering

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