溅射条件对ZnO:Al薄膜生长和性能的影响

石倩,代明江,林松盛,侯惠君,韦春贝,胡芳,

中国有色金属学报（英文版） ›› 2015, Vol. 25 ›› Issue (5) : 1517-1524.

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溅射条件对ZnO:Al薄膜生长和性能的影响

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Effect of sputtering conditions on growth and properties of ZnO:Al films

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