磁控溅射W/DLC/W-S-C复合膜的制备及其性能

代明江,韦春贝,周克崧,朱敏,侯惠君,林松盛,佟鑫,

中国有色金属学报（英文版） ›› 2015, Vol. 25 ›› Issue (9) : 3002-3011.

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Functional Materials

磁控溅射W/DLC/W-S-C复合膜的制备及其性能

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Properties of W/DLC/W-S-C composite films fabricated bymagnetron sputtering

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ISSN 1006-9356　CN 11-3729/TF
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