基于电子理论的电镀薄膜内应力分析

任凤章,殷立涛,王姗姗,熊毅,A.A.VOLINSKY,田保红,魏世忠

中国有色金属学报（英文版） ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (9) : 2413-2418.

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中国有色金属学报（英文版） ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (9) : 2413-2418.
Computational Materials Science and Numerical Modelling

基于电子理论的电镀薄膜内应力分析

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Internal stress analysis of electroplated films based on electron theory

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