电弧离子镀低温沉积TiN薄膜的显微结构与残余应力

梅海娟,赵升升,陈伟,王启民,梁海峰

中国有色金属学报（英文版） ›› 2018, Vol. 28 ›› Issue (7) : 1368-1376.

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电弧离子镀低温沉积TiN薄膜的显微结构与残余应力

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Microstructure and residual stress of TiN films deposited at low temperature by arc ion plating

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