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Diffusion barrier performance of nanoscale TaNx thin-film
匿名
Diffusion barrier performance of nanoscale TaNx thin-film
ZHOU Ji-cheng(周继承), CHEN Hai-bo(陈海波), LI You-zhen(李幼真)
中国有色金属学报(英文版) . 2007, (04): 733 -733 .