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射频磁控溅射沉积TiAlN薄膜的电阻率温度系数
Min-Ho PARK, Sang-Ho KIM
Temperature coefficient of resistivity of TiAlN films deposited by radio frequency magnetron sputtering
Min-Ho PARK, Sang-Ho KIM
中国有色金属学报(英文版) . 2013, (2): 433 -438 .