室温条件下射频磁控溅射法制备AZO薄膜的结构与光电性能

孙宜华,王海林,陈剑,方亮,王磊

中国有色金属学报（英文版） ›› 2016, Vol. 26 ›› Issue (6) : 1655-1662.

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室温条件下射频磁控溅射法制备AZO薄膜的结构与光电性能

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Structural and optoelectronic properties of AZO thin films prepared by RF magnetron sputtering at room temperature

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