斜角沉积和热处理对射频溅射ITO薄膜光学性能的影响

L.G.DAZA,M.ACOSTA,R.CASTRO-RODRíGUEZ,A.IRIBARREN

中国有色金属学报（英文版） ›› 2019, Vol. 29 ›› Issue (12) : 2566-2576.

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Materials Science and Engineering

斜角沉积和热处理对射频溅射ITO薄膜光学性能的影响

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Tuning optical properties of ITO films grown by rf sputtering: Effects of oblique angle deposition and thermal annealing

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