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高平整度和低损伤碳化硅晶片的纳米磨削技术
霍凤伟,郭东明,康仁科,冯 光
Nanogrinding of SiC wafers with high flatness and low subsurface damage
HUO Feng-wei, GUO Dong-ming, KANG Ren-ke, FENG Guang
中国有色金属学报(英文版) . 2012, (12): 3027 -3033 .