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基于电子理论的电镀薄膜内应力分析
任凤章,殷立涛,王姗姗,熊毅,A.A.VOLINSKY,田保红,魏世忠
Internal stress analysis of electroplated films based on electron theory
Feng-zhangREN,Li-taoYIN,Shan-shanWANG,YiXIONG,A.A.VOLINSKY,Bao-hongTIAN,Shi-zhongWEI
中国有色金属学报(英文版) . 2016, (9): 2413 -2418 .