基底旋转速度对射频溅射法制备Al掺杂ZnO薄膜结构和性能的影响
E. A. MARTíN-TOVAR, L. G. DAZA, A. J. R. LóPEZ-ARREGUíN, A. IRIBARREN, R. CASTRO-RODRIGUEZ
Effect of substrate rotation speed on structure and properties of Al-doped ZnO thin films prepared by rf-sputtering
E. A. MARTíN-TOVAR, L. G. DAZA, A. J. R. LóPEZ-ARREGUíN, A. IRIBARREN, R. CASTRO-RODRIGUEZ
中国有色金属学报（英文版）
.
2017, (9): 2055
-2062
.
