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电弧离子镀低温沉积TiN薄膜的显微结构与残余应力
梅海娟,赵升升,陈伟,王启民,梁海峰
Microstructure and residual stress of TiN films deposited at low temperature by arc ion plating
Hai-juanMEI,Sheng-shengZHAO,WeiCHEN,Qi-minWANG,Hai-fengLIANG
中国有色金属学报(英文版) . 2018, (7): 1368 -1376 .